Маценко, О.В.2025-01-302025-01-302025Маценко, О. В. (2025). Дослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації. Збірка праць ХІX Міжнародної наукової конференції «Наука та освіта», 15–22 січня 2025 р., м. Хайдусобосло, Угорщина. – Хмельницький : ХНУ. С. 166-169978-966-330-443-4https://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/17881Досліджено структуру конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації на нерухому підкладку з двох незалежних тиглів, в яких розміщені кремній та вуглець. Дослідження мікроструктури конденсатів показало, що конденсати мають характерну стовпчасту структуру. При вмісті вуглецю до 30% конденсати складаються з полікристалічного кремнію і β-SiC. Збільшення концентрації більш ніж 30 % карбону утворюється лише β-SiC. Встановлено, що зі збільшенням вмісту вуглецю ширина стовпчастих кристалітів зменшується від 4-5 мкм при 5% карбону до 0,5-0,6 мкм при 30% карбону. При вмісті вуглецю 50 % крім стовпчастих кристалітів з’являються області, що складаються з дисперсного графіту і рівновісьових кристалітів β-SiC.ukтовсті конденсатикарбід кремніюелектронно-променеве випаровуванняСтаття