Таранчук, Алла АнатоліївнаПідченко, Сергій КостянтиновичАкулинічев, Артем Аркадійович2023-03-202023-03-202019Пат. 131654 Україна, МПК (2018.01) H 03 H 9/00 H 03 H 9/15 (2006.01). Високочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуванням / А. А. Таранчук, С. К. Підченко, А. А. Акулинічев ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 2018 07923 ; заявл. 16.07.2018 ; опубл. 25.01.2019, Бюл.№ 2.https://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/13384Високочастотний акустичний резонатор, виконаний за технологією FBAR, містить основу з нанесеною п'єзоелектричною плівкою, механічну резонуючу мембрану в центральній частині, нижній та верхній нерухомі електроди. При цьому додатково введені верхній рухомий електрод з електростатичним керуванням та діелектричні утримувачі верхнього рухомого електрода, причому верхній рухомий електрод встановлений на пружних підвісах, а пружні підвіси жорстко закріплені на діелектричних утримувачах.ukПатент