(Хмельницький національний університет, 2025-09) Маценко, О.В.; Гречанюк, Ігор Миколайович
Отримано конденсати тугоплавких сполук на основі боридів титану прямим випаровуванням при низькій і високій швидкостях осадження методом електронно-променевого випаровування-конденсації. Показано, що при низьких температурах конденсації мікроструктура конденсатів має куполоподібну морфологію, яка із збільшенням темпе-ратури підложки при низьких швидкостях осадження переходить у стовпчасту і при високих швидкостях осадження – у волокнисту, що супроводжується перетворенням ТіB2 на ТіВ. Зміна швидкості конден-сації від 0,2 до 6,3 мкм/хв має слабкий вплив на фазовий склад конденсатів бориду титану, але призводить до зменшення розмірів зерна.