Спосіб азотування в тліючому розряді отворів з відносно малим діаметром
Вантажиться...
Дата
2013
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Державна служба інтелектуальної власності України
Анотація
Спосіб азотування в тліючому розряді отворів з відносно малим діаметром, при якому іони азоту доставляються всередину отвору. Напруга на електродах камери короткочасно переривається з таким розрахунком, щоб заряджені частки падаючого на поверхню потоку по інерції продовжували рухатись в глибину отвору з мінімальним відхиленням в сторону стінок отвору і створювали підвищену концентрацію азоту в отворі. Тривалість паузи повинна бути одного порядку з часом прольоту іоном середньої довжини вільного пробігу.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 84477 Україна, МПК u 201304359. Спосіб азотування в тліючому розряді отворів з відносно малим діаметром / І. М. Пастух, В. В. Люховець, М. В. Лук'янюк ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 201304359 ; заявл. 08.04.2013 ; опубл. 25.10.2013, Бюл. № 20.