Багатопараметровий вимірювальний перетворювач на основі стрибкоподібного збудження рухомого мемс -елемента

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorТаранчук, А.А.
dc.contributor.authorTaranchuk, A.A.
dc.date.accessioned2018-05-29T10:33:02Z
dc.date.available2018-05-29T10:33:02Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractУ роботі запропонований багатопараметровий вимірювальний перетворювач на основі рухомого МЕМС- елемента з електростатичним керуванням із стрибкоподібним збудженням. Отримані характеристики перетворення двопараметрового вимірювального перетворювача у багатомірному базисі, шляхом уведення в коливальний рух рухомих МЕМС – елементів за їх стрибкоподібного збудження перепадами напруги. На основі запропонованого підходу розглянуто особливості проектування датчика, призначеного для вимірювання температури та тиску. Проведено моделювання вимірювального перетворювача в системі MATLAB та отримані його градуювальні характеристики.uk_UA
dc.description.abstractAbstract – In this work, a multi-parameter measuring transducer based on a movable MEMS-element with electrostatic control with jump - like excitation is proposed. Obtained characteristics of the transuding of a two-parameter measuring transducer in a multidimensional basis, by introducing into the oscillatory motion of movable MEMS-elements for their jump - like excitation by voltage transitions. Based on the proposed approach, the design of a sensor to measure temperature and pressure is constructed. Dynamic characteristics of the electrodes motion and simulate the signals at the output of the measuring transducer are obtained. The simulation of the measuring transducer in the MATLAB system was carried out and its calibration characteristics were obtained. The proposed measuring transducer has low power consumption, works at a low level of shock control voltage (0, 1 ... 0, 5) and in pulse mode. The two-parameter sensor is characterizing by high accuracy of measurements. The theoretically determined relative error of temperature measurement is 0, 95%, of the pressure - 0,05%.uk_UA
dc.identifier.citationТаранчук, А.А. Багатопараметровий вимірювальний перетворювач на основі стрибкоподібного збудження рухомого МЕМС -елемента [Текст] / А. А. Таранчук // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. – 2018. – №2. – С. 291-296.uk_UA
dc.identifier.urihttps://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/6350
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherХмельницький національний університетuk_UA
dc.subjectМЕМС - конденсаторuk_UA
dc.subjectматричний рухомий електродuk_UA
dc.subjectелектростатичне керуванняuk_UA
dc.subjectдвопараметровий вимірювальний перетворювачuk_UA
dc.subjectMEMS-capacitoruk_UA
dc.subjectmatrix movable electrodeuk_UA
dc.subjectelectrostatic controluk_UA
dc.subjecttwo-parameter measuring transduceruk_UA
dc.subject.udc621.39+621.38.049.77uk_UA
dc.titleБагатопараметровий вимірювальний перетворювач на основі стрибкоподібного збудження рухомого мемс -елементаuk_UA
dc.title.alternativeMulti- parameter measuring transducer, based on jump- like excitation of movable mems – elementuk_UA
dc.typeСтаттяuk_UA
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
17.pdf
Розмір:
38.08 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Назва:
license.txt
Розмір:
4.26 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Вісник ХНУ. Технічні науки - 2018 рік