Пьезорезонансные измерительные преобразователи с внешним MEMS-управлением
Вантажиться...
Дата
2013
Автори
Таранчук, А.А.
Підченко, С.К.
Мишан, В.В.
Taranchuk, A.A.
Pidchenko, S.K.
Myshan, V.V.
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Хмельницький національний університет
Анотація
В работе представлена математическая модель управляемой пьезорезонансной колебательной системы
(ПКС), устанавливающая связь между характеристиками ПКС и параметрами её составляющих: кварцевого
резонатора (КР), элемента связи и низкодобротной нагрузки. Предложен новый класс частотнокомпенсированных
пьезорезонансных колебательных систем (ЧКПКС) на основе систем автоматической
подстройки частоты (АПЧ), обеспечивающих выбор оптимальной связи между высокодобротным КР и
низкодобротной нагрузкой. Показано, что использование ЧКПКС позволяет не только минимизировать
(компенсировать) влияние низкодобротных цепей на резонансную частоту и эквивалентную добротность ПКС,
но и использовать напряжение разкомпенсации системы АПЧ в качестве выходного информационного параметра
первичного измерительного преобразователя (ПИП) «физический параметр – частота». Рассмотрена
возможность усовершенствования ЧКПКС за счёт применения в качестве элементов связи матричных MEMSконденсаторов,
позволяющих реализовать многоуровневый режим управления, при котором изменяется как
напряжение управления каждого элементарного конденсатора отдельно, так и формируется переменная
геометрия матричного подвижного электрода в целом
The Paper represents mathematical model of piezoresonance oscillator system (POS), which sets the connections between characteristics of POS and the parameters of its components: quartz resonator (QR), the element of connection and lowquality loading influence. The new class of frequencycompensated piezoresonance oscillator systems (FCPOS) on basis of automated frequency control AFС) is proposed, which provides the choice of optimal connection between highquality QR and lowquality loading influence. It is demonstrated that the use of FCPOS allows not only minimize (compensate) the influence of lowquality chains onto resonance frequency and equivalent quality of POS, but also use the capacity of decompensation the system AFС as exit information parameter of primary measuring transducers (PMT) “physical parameterfrequency”. The possibility of improvement of FCPOS is considered by means using as elements of connection the matrix MEMScapacitor, which allow to realize the multilevel control mode, under which the control tension of each elementary capacitor separately is changed , and the variable geometry of matrix movable electrode in general is formed
The Paper represents mathematical model of piezoresonance oscillator system (POS), which sets the connections between characteristics of POS and the parameters of its components: quartz resonator (QR), the element of connection and lowquality loading influence. The new class of frequencycompensated piezoresonance oscillator systems (FCPOS) on basis of automated frequency control AFС) is proposed, which provides the choice of optimal connection between highquality QR and lowquality loading influence. It is demonstrated that the use of FCPOS allows not only minimize (compensate) the influence of lowquality chains onto resonance frequency and equivalent quality of POS, but also use the capacity of decompensation the system AFС as exit information parameter of primary measuring transducers (PMT) “physical parameterfrequency”. The possibility of improvement of FCPOS is considered by means using as elements of connection the matrix MEMScapacitor, which allow to realize the multilevel control mode, under which the control tension of each elementary capacitor separately is changed , and the variable geometry of matrix movable electrode in general is formed
Опис
Ключові слова
кварцевый резонатор, добротность, первичный измерительный преобразователь, MEMS-конденсатор, quartz resonator, q-factor, primary measuring transducer, MEM-Scapacitor
Бібліографічний опис
Таранчук, А.А. Пьезорезонансные измерительные преобразователи с внешним MEMS-управлением [Текст] / А. А. Таранчук, С. К. Підченко, В. В. Мишан // Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах. – 2013. – № 3. – С. 37-43.