Відносні енергетичні фактори процесу азотування у тліючому розряді

Вантажиться...
Ескіз
Дата
2016
Автори
Соколова, Г.М.
Sokolova, G.M.
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Хмельницький національний університет
Анотація
Запропоновано комплекс вихідних факторів моделювання процесу азотування у тліючому розряді, що базується на енергетичній моделі процесу і дозволяє враховувати вплив на результати модифікації інтенсивності перебігу основних субпроцесів досліджуваного процесу – утворення нітридів, розпорошення поверхні та дифузії. Розглянуто характер взаємозалежності між відносними енергетичними факторами і на цій основі запропоновано методи математичного моделювання, що можуть бути використані для прогнозування кількісних характеристик поверхневих шарів матеріалів, азотованих в тліючому розряді.
It was proposed alternative approaches to formation of the initial factors complex based on energy model of the nitriding in glow discharge (NGD) process, that take into account the influence of the intensity of the main subprocesses (the formation of nitrides, surface sputtering and diffusion) on the modification results. The nature of relationship between the relative energy factors was analyzed and on this basis it was found that it can be represented by a second order surface. The practical value of such representing is that the formation of the model of the nitriding in glow discharge process with independent parameters can be significantly simplified by reducing the number of input factor, because a combination of two relative energy factors uniquely determines the third one. It was proposed the methods of mathematical modeling that can be used to predict the quantitative characteristics of the surface layers of materials nitrided in a glow discharge.
Опис
Ключові слова
азотування, тліючий розряд, багатофакторний процес, моделювання, nitriding, glow discharge, multifactorial process, modelling
Бібліографічний опис
Соколова, Г.М. Відносні енергетичні фактори процесу азотування у тліючому розряді [Текст] / Г. М. Соколова // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. – 2016. – № 3. – С. 147-150.