Спосіб азотування в тліючому розряді в мультифазовому аналоговому режимі
Вантажиться...
Дата
2013
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Державна служба інтелектуальної власності України
Анотація
Спосіб азотування в тліючому розряді в мультифазовому аналоговому режимі полягає в тому, що напругу на електродах камери періодично змінюють. При цьому електричні параметри розряду безперервно змінюють, причому період коливань їх порівняний з часом переходу тліючого розряду в дуговий, а закон зміни цих параметрів на електродах розрядної камери встановлюють таким, при якому вибірково стимулюють певні складові процесу модифікації, які формують необхідні фази структури поверхні.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 85913 Україна, МПК C 23 C 8/36, C 23 C 8/48. Спосіб азотування в тліючому розряді в мультифазовому аналоговому режимі / І. М. Пастух, В. С. Курской, Г. М. Соколова ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 201305424; заявл. 26.04.2013; опубл. 10.12.2013, Бюл. № 23.