Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні
Вантажиться...
Дата
2016
Автори
Пастух, Ігор Маркович
Соколова, Галина Миколаївна
Люховець, Володимир Васильович
Здибель, Олександр Станіславович
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Державна служба інтелектуальної власності України
Анотація
Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні, при якому процес проходить по схемі деталь-анод, корпус камери-катод при незмінних параметрах електричного розряду між електродами. В ході процесу з періодом не менше тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища розрядна камера автоматично переключається на схему деталь-катод, корпус камери-анод. На електроди камери подається короткочасний імпульс напруги порядку 1200 вольт, тривалість якого менша тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 112613 Україна, МПК C 23 C 8/36, C 23 C 8/48. Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні / І. М. Пастух, Г. М. Соколова, В. В. Люховець, О. С. Здибель ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 201606139 ; заявл. 06.06.2016 ; опубл. 26.12.2016, Бюл. № 24.