Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні
Вантажиться...
Дата
2017
Автори
Пастух, Ігор Маркович
Соколова, Галина Миколаївна
Люховець, Володимир Васильович
Здибель, Олександр Станіславович
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні,
при якому процес проходить по схемі деталь-анод, корпус камери-катод при незмінних
параметрах електричного розряду між електродами. В ході процесу з періодом не менше
тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища розрядна
камера автоматично переключається на схему деталь-катод, корпус камери-анод. На
електроди камери подається короткочасний імпульс напруги порядку 1200 вольт, тривалість
якого менша тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 112613 Україна, МПК С 23 С 8/36 (2006.01), С 23 С 8/48 (2006.01). Спосіб азотування в тліючому розряді оберненої полярності з періодичною очисткою поверхні / І. М. Пастух, Г. М. Соколова, В. В. Люховець, О. С. Здибель ; заявник i патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 2016 06139 ; заявл. 06.06.2016 ; опубл. 26.12.2016, Бюл. № 24.