Спосіб азотування в тліючому розряді з періодичною очисткою поверхні
Вантажиться...
Дата
2017
Автори
Пастух, Ігор Маркович
Соколова, Галина Миколаївна
Люховець, Володимир Васильович
Здибель, Олександр Станіславович
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Спосіб азотування в тліючому розряді з періодичною очисткою поверхні проходить при
незмінних параметрах електричного розряду між деталлю, яка служить катодом, та корпусом
камери або окремою деталлю, які виконують роль анода. В ході процесу з періодом не менше
тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища додатково на
електроди камери подають короткочасний імпульс напруги порядку 1200 вольт, тривалість
якого менша тривалості формування адсорбційного шару з компонентів газового середовища.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 112984 Україна, МПК С 23 С 8/36 (2006.01), С 23 С 8/24 (2006.01). Спосіб азотування в тліючому розряді з періодичною очисткою поверхні / І. М. Пастух, Г. М. Соколова, В. В. Люховець, О. С. Здибель ; заявник i патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 2016 05934 ; заявл. 01.06.2016 ; опубл. 10.01.2017, Бюл. №1.