Дослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації
Вантажиться...
Дата
2025
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Хмельницький національний університет
Анотація
Досліджено структуру конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації на нерухому підкладку з двох незалежних тиглів, в яких розміщені кремній та вуглець. Дослідження мікроструктури конденсатів показало, що конденсати мають характерну стовпчасту структуру. При вмісті вуглецю до 30% конденсати складаються з полікристалічного кремнію і β-SiC. Збільшення концентрації більш ніж 30 % карбону утворюється лише β-SiC. Встановлено, що зі збільшенням вмісту вуглецю ширина стовпчастих кристалітів зменшується від 4-5 мкм при 5% карбону до 0,5-0,6 мкм при 30% карбону. При вмісті вуглецю 50 % крім стовпчастих кристалітів з’являються області, що складаються з дисперсного графіту і рівновісьових кристалітів β-SiC.
Опис
Ключові слова
товсті конденсати, карбід кремнію, електронно-променеве випаровування
Бібліографічний опис
Маценко, О. В. (2025). Дослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації. Збірка праць ХІX Міжнародної наукової конференції «Наука та освіта», 15–22 січня 2025 р., м. Хайдусобосло, Угорщина. – Хмельницький : ХНУ. С. 166-169