Дослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМаценко, О.В.
dc.date.accessioned2025-01-30T09:36:28Z
dc.date.available2025-01-30T09:36:28Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractДосліджено структуру конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації на нерухому підкладку з двох незалежних тиглів, в яких розміщені кремній та вуглець. Дослідження мікроструктури конденсатів показало, що конденсати мають характерну стовпчасту структуру. При вмісті вуглецю до 30% конденсати складаються з полікристалічного кремнію і β-SiC. Збільшення концентрації більш ніж 30 % карбону утворюється лише β-SiC. Встановлено, що зі збільшенням вмісту вуглецю ширина стовпчастих кристалітів зменшується від 4-5 мкм при 5% карбону до 0,5-0,6 мкм при 30% карбону. При вмісті вуглецю 50 % крім стовпчастих кристалітів з’являються області, що складаються з дисперсного графіту і рівновісьових кристалітів β-SiC.
dc.description.sponsorshipХмельницька обласна організація СНІО України
dc.identifier.citationМаценко, О. В. (2025). Дослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації. Збірка праць ХІX Міжнародної наукової конференції «Наука та освіта», 15–22 січня 2025 р., м. Хайдусобосло, Угорщина. – Хмельницький : ХНУ. С. 166-169
dc.identifier.isbn978-966-330-443-4
dc.identifier.urihttps://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/17881
dc.language.isouk
dc.publisherХмельницький національний університет
dc.subjectтовсті конденсати
dc.subjectкарбід кремнію
dc.subjectелектронно-променеве випаровування
dc.titleДослідження структури товстих конденсатів на основі карбіду кремнію, отриманих методом електронно-променевого випаровування-конденсації
dc.typeСтаття
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Matcenko.pdf
Розмір:
766.32 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Назва:
license.txt
Розмір:
4.26 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Наука та освіта - 2025 рік