Високочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуванням
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Таранчук, Алла Анатоліївна
Підченко, Сергій Костянтинович
Акулинічев, Артем Аркадійович
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Міністерство економічного розвитку і торгівлі України
Анотація
Високочастотний акустичний резонатор, виконаний за технологією FBAR, містить основу з
нанесеною п'єзоелектричною плівкою, механічну резонуючу мембрану в центральній частині,
нижній та верхній нерухомі електроди. При цьому додатково введені верхній рухомий електрод
з електростатичним керуванням та діелектричні утримувачі верхнього рухомого електрода,
причому верхній рухомий електрод встановлений на пружних підвісах, а пружні підвіси жорстко
закріплені на діелектричних утримувачах.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Пат. 131654 Україна, МПК (2018.01) H 03 H 9/00 H 03 H 9/15 (2006.01). Високочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуванням / А. А. Таранчук, С. К. Підченко, А. А. Акулинічев ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 2018 07923 ; заявл. 16.07.2018 ; опубл. 25.01.2019, Бюл.№ 2.