Високочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуванням

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorТаранчук, Алла Анатоліївна
dc.contributor.authorПідченко, Сергій Костянтинович
dc.contributor.authorАкулинічев, Артем Аркадійович
dc.date.accessioned2023-03-20T19:36:15Z
dc.date.available2023-03-20T19:36:15Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractВисокочастотний акустичний резонатор, виконаний за технологією FBAR, містить основу з нанесеною п'єзоелектричною плівкою, механічну резонуючу мембрану в центральній частині, нижній та верхній нерухомі електроди. При цьому додатково введені верхній рухомий електрод з електростатичним керуванням та діелектричні утримувачі верхнього рухомого електрода, причому верхній рухомий електрод встановлений на пружних підвісах, а пружні підвіси жорстко закріплені на діелектричних утримувачах.uk_UA
dc.identifier.citationПат. 131654 Україна, МПК (2018.01) H 03 H 9/00 H 03 H 9/15 (2006.01). Високочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуванням / А. А. Таранчук, С. К. Підченко, А. А. Акулинічев ; заявник і патентовласник Хмельниц. нац. ун-т. – № u 2018 07923 ; заявл. 16.07.2018 ; опубл. 25.01.2019, Бюл.№ 2.uk_UA
dc.identifier.urihttps://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/13384
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherМіністерство економічного розвитку і торгівлі Україниuk_UA
dc.titleВисокочастотний акустичний резонатор з електростатичним mems-керуваннямuk_UA
dc.typeПатентuk_UA
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Назва:
getdocument (21).pdf
Розмір:
277.08 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Назва:
license.txt
Розмір:
4.26 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Патенти