Кінетика входження іонів у зіткнення з поверхнею в розширеному енергетичному діапазоні
Вантажиться...
Файли
Дата
2015
Автори
Пастух, І.М.
Соколова, Г.М.
Pastukh, I.M.
Sokolova, G.M.
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Хмельницький національний університет
Анотація
Викладено аналітичний апарат розрахунку кутів зіткнення іонів з частками поверхні, що становить основу
енергетики передачі імпульсу при азотуванні у тліючому розряді (АТР), оскільки величина і напрямок силової дії іона
впливають на характер та інтенсивність основних субпроцесів модифікації: утворення нітридів, дифузію азоту в
глибину поверхневого шару, розпорошення поверхні. Запропоновані аналітичні вирази можуть застосовуватись у
межах до 1200 В, що повністю перекриває енергетичний діапазон, реально використовуваний при АТР.
The article deals with the analytical apparatus of the calculating of angles of ions collision with the particles of the surface, which is the basis of energy transmission of pulse when nitriding in glow discharge as the magnitude and direction of ion force affects the nature and intensity of the major modification subprocesses: formation of nitrides, nitrogen diffusion into the depth of the surface layer, surface spraying. The analytical dependences allow to calculate accurately the angle of entry of different types ions in the collision with the surface, which is crucial for energy transfer and thus for prediction the probability of various subprocesses of surface modification by nitriding in glow discharge. The proposed analytical expressions can be used within 1200 B, which completely covers the energy rang actually used in the process of nitriding in glow discharge.
The article deals with the analytical apparatus of the calculating of angles of ions collision with the particles of the surface, which is the basis of energy transmission of pulse when nitriding in glow discharge as the magnitude and direction of ion force affects the nature and intensity of the major modification subprocesses: formation of nitrides, nitrogen diffusion into the depth of the surface layer, surface spraying. The analytical dependences allow to calculate accurately the angle of entry of different types ions in the collision with the surface, which is crucial for energy transfer and thus for prediction the probability of various subprocesses of surface modification by nitriding in glow discharge. The proposed analytical expressions can be used within 1200 B, which completely covers the energy rang actually used in the process of nitriding in glow discharge.
Опис
Ключові слова
азотування, тліючий розряд, іон, кут зіткнення з поверхнею, nitriding, glow discharge, ion, angle of collision with the surface
Бібліографічний опис
Пастух, І.М. Кінетика входження іонів у зіткнення з поверхнею в розширеному енергетичному діапазоні [Текст] / І. М. Пастух, Г. М. Соколова // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. – 2015. – № 4. – С. 6-9.