Кінетика входження іонів у зіткнення з поверхнею в розширеному енергетичному діапазоні

dc.contributor.authorПастух, І.М.
dc.contributor.authorСоколова, Г.М.
dc.contributor.authorPastukh, I.M.
dc.contributor.authorSokolova, G.M.
dc.date.accessioned2015-11-30T08:38:30Z
dc.date.available2015-11-30T08:38:30Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractВикладено аналітичний апарат розрахунку кутів зіткнення іонів з частками поверхні, що становить основу енергетики передачі імпульсу при азотуванні у тліючому розряді (АТР), оскільки величина і напрямок силової дії іона впливають на характер та інтенсивність основних субпроцесів модифікації: утворення нітридів, дифузію азоту в глибину поверхневого шару, розпорошення поверхні. Запропоновані аналітичні вирази можуть застосовуватись у межах до 1200 В, що повністю перекриває енергетичний діапазон, реально використовуваний при АТР.uk_UA
dc.description.abstractThe article deals with the analytical apparatus of the calculating of angles of ions collision with the particles of the surface, which is the basis of energy transmission of pulse when nitriding in glow discharge as the magnitude and direction of ion force affects the nature and intensity of the major modification subprocesses: formation of nitrides, nitrogen diffusion into the depth of the surface layer, surface spraying. The analytical dependences allow to calculate accurately the angle of entry of different types ions in the collision with the surface, which is crucial for energy transfer and thus for prediction the probability of various subprocesses of surface modification by nitriding in glow discharge. The proposed analytical expressions can be used within 1200 B, which completely covers the energy rang actually used in the process of nitriding in glow discharge.uk_UA
dc.identifier.citationПастух, І.М. Кінетика входження іонів у зіткнення з поверхнею в розширеному енергетичному діапазоні [Текст] / І. М. Пастух, Г. М. Соколова // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. – 2015. – № 4. – С. 6-9.uk_UA
dc.identifier.urihttps://elar.khmnu.edu.ua/handle/123456789/4252
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherХмельницький національний університетuk_UA
dc.subjectазотуванняuk_UA
dc.subjectтліючий розрядuk_UA
dc.subjectіонuk_UA
dc.subjectкут зіткнення з поверхнеюuk_UA
dc.subjectnitridinguk_UA
dc.subjectglow dischargeuk_UA
dc.subjectionuk_UA
dc.subjectangle of collision with the surfaceuk_UA
dc.subject.udc669.1:537.5uk_UA
dc.titleКінетика входження іонів у зіткнення з поверхнею в розширеному енергетичному діапазоніuk_UA
dc.title.alternativeKinetics of ion entry into collision with the surface at the extended energy rangeuk_UA
dc.typeСтаттяuk_UA
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Вантажиться...
Ескіз
Назва:
пастух.pdf
Розмір:
1.04 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Назва:
license.txt
Розмір:
4.26 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: